国家重点研发计划薄膜铌酸锂平台PDK1.0在校发布

发布时间: 2024-01-04 13:50:08 浏览次数 : 155 来源:华中科技大学

2023年12月26日上午，国家重点研发计划薄膜铌酸锂平台PDK1.0发布会在光电信息大楼举行。本次发布会由武汉光电国家研究中心主办，研究中心孙军强教授团队进行成果发布，旨在打造薄膜铌酸锂公共技术平台，为薄膜铌酸锂光电子器件的应用提供成套共性技术与专业高效的流片服务。武汉市科技成果转化促进中心主任李少良参加活动。

发布会由科发院重大办主任叶海祥主持。科发院副院长周光勇表示，发展信息传输、处理与感知的光电子与微电子集成芯片、器件与模块技术，构建全链条光电子与微电子器件研发体系，对推动信息领域中的核心芯片与器件研发取得重大突破具有重要意义。

武汉光电国家研究中心常务副主任陆培祥强调了薄膜铌酸锂在光电子器件领域的关键作用，期待研究中心与各高校、企业进行合作，为光子集成技术和产业的发展做出重要贡献。

近年来，由于国内企业、科研院所和高校的薄膜铌酸锂器件制备工艺各异，尚未形成固定的标准，并且存在“卡脖子”的风险，孙军强率领团队对薄膜铌酸锂光子集成关键工艺技术进行了科研攻关，最终形成了薄膜铌酸锂平台工艺开发包(PDK)1.0。发布会上，孙军强从研究背景与意义、微纳平台的设备与工艺、平台的器件制作水平、薄膜铌酸锂平台PDK简介以及总结与展望五个方面对薄膜铌酸锂平台工艺开发包(PDK)1.0公开发布。

薄膜铌酸锂平台工艺开发包(PDK)1.0针对解决当前我国欠缺的薄膜铌酸锂光电子器件加工工艺平台问题，以此为基础建设纳米级薄膜铌酸锂光电子器件工艺平台，开发基于自主集成工艺的薄膜铌酸锂光电子器件库，研究集成化薄膜铌酸锂光电子器件封装方案和工艺，为产业和学术提供开放共享的薄膜铌酸锂光电子器件加工与封装平台。孙军强进一步表示，研究中心将提供一系列高标准的流片服务，解决当前国内在薄膜铌酸锂工艺方面的空缺。

发布会现场，团队博士生石浩天对薄膜铌酸锂平台工艺开发包(PDK)1.0进行案例演示。他以一个多功能集成化薄膜铌酸锂芯片的设计为范例，展示了如何运用PDK1.0工艺开发包进行实际的光子芯片设计，包括器件库的调用、片上系统的搭建，设计规范的检查以及芯片版图的高效定位与修正。

在提问交流环节，产学研各界代表高度评价薄膜铌酸锂平台PDK1.0的形成，博士生张天衡代表团队对关键器件的工艺流程进行详细解答，大家集思广益，为薄膜铌酸锂平台未来的进一步发展和完善提供建设性意见，至此本次发布会至此圆满落下帷幕。

华为技术有限公司、烽火通信科技股份有限公司、武汉光迅科技股份有限公司、珠海光库科技股份有限公司、济南晶正电子科技有限公司、江西匀晶光电技术有限公司、武汉飞思灵微电子技术有限公司、武汉联特科技股份有限公司、北京世维通科技股份有限公司、合肥六芯光电科技有限公司、武汉华晶微联科技有限公司和武汉精测电子集团股份有限公司等产业界代表，上海交通大学、武汉大学、中国科学院半导体研究所、中国科学院微电子研究所、中国船舶重工集团公司第七一七研究所、电子科技大学、兰州大学、武汉理工大学和中国地质大学(武汉)等高校及科研院所代表参加本次发布会。

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